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4月9日，据台湾地区“中央社”报道，ASML阿斯麦公司计划在台湾地区投资重金，针对2nm晶圆光学量测设备的研发制造，并向台“经济部”申请A++企业研发补助案。据报道，ASML阿斯麦申请案将进入实质审查的第二阶段，预计在5月召开决审会议拍板通过，届时补助额也将明确。
ASML去年宣布在台湾扩大投资，计划在林口建厂，第一期投资金额达300亿新台币，预计将有2000名员工入驻。此外，ASML去年还向台“经济部”提交申请，提出了针对2纳米晶圆光学测量设备的研发补助方案，经济部已经受理审查。根据规定，一旦通过审查，政府补助比例不会超过50%。
台“经济部”的“A++企业创新研发淬炼计划”旨在补助企业进行创新研发和前瞻产业技术开发，每年预算约20亿新台币（当前约4.5亿元人民币）。该计划吸引了国际大厂来台研发生产，并帮助该地区企业打入前端设备的供应链。
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