2月2日，ASML将在2024年4月迎来其四十周年。作为半导体行业的领先供应商，这家总部位于荷兰费尔德霍芬的公司，因长期为芯片制造商提供硬件、软件和服务，用以大规模生产集成电路（芯片）而享誉全球。
近期，ASML公布了2023年的全年业绩：净销售额达到276亿欧元，毛利率为51.3%，净利润为78亿欧元。同时，公司预计2024年的净销售额将与2023年基本持平。在2024年第1季度，ASML预计其净销售额将在50亿至55亿欧元之间，毛利率约为48%至49%。这一优异的业绩表现和市场影响力再次证明了ASML在业界的领先地位。那么，作为光刻技术的巨头，ASML是如何在微观世界里保持稳定的发展呢？
ASML的无间合力“铁三角”，微观世界的“品控师”
当一艘船或一架飞机满载ASML的设备驶向全球各地的晶圆厂时，它所代表的不仅仅是一个设备，更是ASML在核心环节推动“铁三角”（即光刻机台、计算光刻、光学和电子束量测）紧密协作的象征。ASML的全景光刻解决方案在芯片制造过程中起着至关重要的作用，帮助芯片制造商生产更小、更强大、更智能的芯片。
在光刻技术方面，ASML的光刻机以其精妙的技术享誉业界。它将芯片制造所需的电路图案精准地投射到晶圆上，而光刻在这个过程中扮演着决定性的角色。一个更生动的形容是：“在中国，每台ASML光刻机一年所曝光的晶圆片数量平均接近200万片，如果将其相连，其长度相当于5条黄浦江，叠加起来则相当于3座东方明珠塔。”
为了确保芯片制造过程中的精确无误，ASML的电子束量测技术发挥着关键作用。凭借高分辨率大视场优势，它可以更精准地扫描晶圆并收集数据，然后将这些数据反馈给光刻机台，从而高质量地完成量测和检验工作。
在“铁三角”中，除了光刻机台和电子束量测之外，计算光刻软件是另一个隐形担当。通过其独特的数学物理模型，计算光刻软件能够精确仿真光刻过程中的物理化学过程。在各种复杂条件下，它都能探索出高品质光刻解决方案，为后续的光刻行为提供有力指导。一个具体的案例是，某客户采用ASML的计算光刻产品后，优化了自由形式的成像光源及与之匹配的掩模版图，针对关键图形和易缺陷图形作成像增强，使得工艺窗口增大了30%以上！
数十年以来，集成电路制造工艺迅猛发展，微观世界不断迎来科技革命。在这个过程中，ASML的技术变革始终秉持着推动芯片微缩、提高良率和产能的目标。“铁三角”全景光刻解决方案为这一进程提供了重要的支撑力量。以“晶圆成像专家”光刻机为主要抓手；辅以计算光刻及量测两大技术深度介入制造环节；并以“品控师”身份精密守住质量关卡。三者无间合力，为整个产业的发展打造了坚实的基石！
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